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杭州电子科技大学微电子研究院科研成果2023年论文。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目国家重点基础研究发展规划项目(973)。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目国家自然科学基金重大项目。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目其它国家级项目。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目创新工程重要方向项目、装备研制。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研成果2023年发表论文。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研项目国家杰出青年科学基金及优秀青年基金。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研成果2022年授权发明专利。
中国科学院半导体材料科学重点实验室科研成果2021年发表论文。

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