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新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
接口电路 MEMS Sigma-delta ADC
2016/12/26
MEMS加速度计接口电路主要采用传统sigma-delta架构实现，但这种方式中的电路失调电压很容易产生积分饱和现象.为解决这个问题，本文设计了一种可以用于钻井、石油勘探等微弱信号检测的新型数字电容接口电路.该设计在电容式MEMS加速度传感器基础上，采用FPGA实现数字三阶环路滤波器，构成5阶sigma-delta系统.采用数字环路滤波器降低了ASIC模拟电路版图设计与芯片测试难度，利于快速优化环...
一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计
MEMS陀螺 高精度 电容分辨率 CMOS
2014/4/30
针对电容式MEMS陀螺，设计了一种高精度CMOS接口读出电路。从理论上分析了接口寄生电容、器件的不匹配对接口电路的影响，采用连续时间电压读出方式的检测方法，设计了一款带有输入输出共模反馈的低噪声全差分电荷运算放大器，输入输出共模电压稳定在2.5V，输入端的噪声电压为9nV。载波调制技术用来消除低频闪烁噪声。在Cadence中对设计的接口电路进行仿真分析，并采用PCB电路板进行了实验。结果显示所提出...
微系统所在MEMS和传感器领域的研发水平有显著提高
传感器 领域 研发水平 提高
2011/11/14
固态传感器、执行器与微系统国际会议(International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 简称Transducers)是国际传感技术领域规模最大的学术会议，其论文挑选之严格，学术水平之高，为国际该领域所共识。自1981年在美国波士顿召开首次会议以来，该会议每两年召开一次，轮流在美洲、欧洲和亚洲（包括...