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在数控加工中,加工表面的几何形貌特性在很大程度上影响着它的许多技术性能和使用功能。开展对加工表面形貌的研究是表面科学中重要的研究课题之一。研究表明,工程表面具有随机性、无序性、自相似性、自仿射性和多尺度性等分形特性。表面形貌影响光学元件的机械性能、物理性能、成品率;在特定应用场合下,通过检测光学元件表面三维微观形貌来检测光学元件的加工质量。将工件表面置于光学显微镜焦面上观测,如观测到工件表面某处存...